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![[DAIHEN] 先進後工程向け大気用パネル搬送ロボットの紹介_SPR-AD020BPN Series](https://i.ytimg.com/vi/QcX9KIta1qU/sddefault.jpg)
ダイヘンが半導体先進後工程向けに強化したパネル搬送ロボットをご紹介します。
［特徴］
・床からの高さ800mm～1500mmの範囲でパネルの搬送が可能
・たわみやそりのある600mm角のパネルも、フレキシブルパッドで吸着し、搬送の信頼性が飛躍的に向上
・光学センサを用いたアライメント機能により、非接触で高精度な搬送を実現
・従来の省配線技術を継承し、動力線1本のみでロボットの制御が可能
"We would like to introduce Daihen's panel transfer robot, enhanced for advanced semiconductor back-end processes.
[Features]
- Capable of transferring panels at heights ranging from 800mm to 1500mm above the floor
- Reliably transfers even 600mm square panels with deflection or warping, thanks to flexible pads for secure suction
- Achieves high-precision, non-contact transfer using optical sensor-based alignment functions
- Inherits conventional wiring-reduction technology, allowing robot control with only a single power cable"
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